¿Estás con dispositivo físico conectado?
¿Qué dispositivo?
Que parece que hay algunos que no son compatibles porque tienen CPU que corre en 32bits.
Revisa este link que habla de esto (en los comentarios hay alguno similar al problema que comentas)
Por aquí comentan que si tienes problemas realices la depuración en 32bits aunque luego generes el definitivo en 64b