Tenes un doble while not eof anidados. No estaras procesando algo de mas?
No es necesario que abras el archivo entero en memoria. Podes leer de a una linea (busca sobre ReadLn)
1. Preparas el archivo para solo lectura.
2. Creas un ADOQuery, asignas la sentencia SQL y la dejas Prepared := True
2. Mientras no sea fin archivo, tomar una linea
3. Procesar linea, setear parametros ADOQuery, llamar a ADOQuery.ExecSQL
4. Vuelve a 2, cuando sea Eof := True, fin del proceso
Eso no puede gastar casi nada de memoria
El problema esta en otro lado, ademas de ese doble while anidado que no me gusta para nada (aun asi no te podria dar out of memory aunque fueran trillones de lineas, porque siempre procesas de a 1)
Yo creo que tu problema esta en el "se hacen operaciones con con los valores". Depura el codigo y busca memory leaks.
Añade la linea
Código Delphi
[-]ReportMemoryLeaksOnShutDown := True
Ejecuta tu proceso, y luego del Out of Memory, cierra la aplicacion e investiga donde estan las fugas de memoria