Te has complicado demasiado, es mas sencillo que todo eso: Indica en la propiedad DatabaseName el directorio donde quieras crear la tabla y listo.
Código:
var
TableNew:TTable;
begin
TableNew:=TTable.Create(nil);
try
TableNew.DatabaseName:= 'c:\';
TableNew.TableName :='prueba.dbf';
{Añadir campos }
TableNew.FieldDefs.Add( ... );
TableNew.FieldDefs.Add( ... );
{Crear Tabla}
TableNew.CreateTable;
finally
TableNew.Free;
end;
end;
Saludos