Hola:
Te aconsejo que asignes un directorio adrede para esos archivos temporales, esto lo haces mediante la propiedad PrivateDir del Session (si no quieres colocar un componente TSession a propósito para esto, lo puedes asignar a la veriable global Session en el OnCreate del Datamodule principal). De esta forma el borrado de archivos basura te será más fácil y no te arriesgarás a borrar algo sagrado.
Como dice Marcos Zorrilla, lo ideal es que sea tu programa quien se encargue de esa labor (aunque a veces se quedan ahí precisamente porque el programa se ha colgado o cualquier imprevisto).
Aún recuerdo cuando estos archivos se me quedaban en el mismo directorio que el ejecutable y por teléfono le decía al cliente cómo borrarlos (me recorría un sudor frío por el cuerpo).
Un saludo
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