Primero : No se si el sistema operativo te dejará hacer archivos tan grandes. Supongo que querras llenar discos de muchos Gigas y este problema lo podrías solucionar generando muchos archivos.
Segundo : programita ejemplo. Crea archivos llamados ARCHIVO_1.txt, ARCHIVO_2.txt, etc. con 10.000.000 de letras X.
Código Delphi
[-]
procedure TFMMain.LlenarDisco;
var
f : TextFile;
i,j : integer;
salir : boolean;
begin
i := 0;
salir := false;
while (not salir) do
begin
inc(i);
AssignFile(f,'C:\ARCHIVO_'+IntToStr(i)+'.txt');
try
Rewrite(f);
for j := 0 to 10000000 do
Write(f,'X');
except
salir := true;
end;
CloseFile(f);
end;
end;