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Hola,
ante todo que conste que no he visto ante ese error. En cualquier caso eso no parece un error de compilación sino una limitación del IDE, parece que genera excesiva información para debug. No se que entorno usas, pero si se trata de cualquier Delphi, alucino.
De todos modos, sea el entorno que sea yo lo primero que haria es reiniciar la máquina y reintentarlo. Si eso no funciona, seguro que en algún menu de opciones puedes configurar qué información se debe guardar el compilador para el debug. Prueba a deshabilitarlo o a configurarlo para que guarde menos.
No sé, ahora no se me ocurren más cosas a probar.... ya nos dirás qué tal
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E pur si muove
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